潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點
潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同,它首先對控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導體器件廠房內(nèi),在硅襯底上只要落有電路線寬1/10~1/3大小的塵埃,就可能導致芯片電路短路。如今,半導體集成電路的發(fā)展突飛猛進,近英特爾公司更是推出了采用32
nm線寬的處理器芯片,把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外,潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對潔凈度要求較高外,還對溫度、濕度、震動、噪音等都有不同程度要求。
同時,由于半導體器件生產(chǎn)工藝的特點,要求潔凈廠房內(nèi)全天(24h)保持相應的潔凈度,目此,潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應的輸送系統(tǒng)需每天24
h運行,這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運行時間的增長也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。
根據(jù)多年經(jīng)驗各種不同的加濕器的應用范圍不同: 如:淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器,其特點是加濕量大、投資費用低,而相對濕度控制精度較差,因此多用于相對濕度要求不嚴格(> ±10%),加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調(diào)房間的空調(diào)系統(tǒng)加濕。
而相對濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕因投資較高則多用在相對濕度精度要求嚴格的恒溫恒濕潔凈廠房的空調(diào)系統(tǒng)加濕中。
對于以微生物為控制對象的生物潔凈室(例如:生物制藥、潔凈手術室、生物安全實驗室、實驗無菌動物飼養(yǎng)室等)其重點要控制微生物的產(chǎn)生和傳播,因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件,因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中,只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。
潔凈廠房建筑方式可分為土建結(jié)構和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。裝配式潔凈廠房系統(tǒng)主要由初,中,高三級空氣過濾的空調(diào)送風回風和排風系統(tǒng);動力及照明系統(tǒng);工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測報警消防和通訊系統(tǒng);人和物流系統(tǒng);工藝管路系統(tǒng);維護結(jié)構及靜電地面處理等各方面所要求的實施內(nèi)容組成,形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個設備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容。
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